數顯高精度烤膠台/加熱台/電熱板

JOXTEC數顯高精度烤膠台/加熱台/電熱板HP20/HP30/HP40/HP50

光刻膠烘焙裝備的選擇
 光刻工藝及其相幹技術是微電子機械係統（MEMS）加工工藝的重要構成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序，為增長膠層與矽片表麵粘附能力，提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度，通常接納烘箱或者加熱板等加熱裝備對光刻膠舉行幹燥。烘箱加熱由於速率慢、且加熱易造成表麵以及內部受熱不均勻，效驗欠佳！而熱板易於到達在膠的厚度標的目的且快速均勻烘焙等要求，今朝越來越多地接納熱板加熱的方式。
所以烤膠機的表麵溫度均勻性、溫度控製精疏密程度、溫度上升速率等是選擇烤膠機的首要性能指標思量。

采用高精度溫度控製器，PID控製，解析度0.1℃

14bit的A/D轉換分辨率，0.2%FS的顯示精度，取樣時間250ms,可手動補償PV顯示值(PVOS)。內建Autozero-Autospan功能，自動校正零點及斜率，使顯示精度不因長時間而劣化。

自動演算(AT)：使用自動演算功能，可自動算出係統*佳化的PID參數數值。當自動演算進行中，PV會上下震動1~2個周期。為保護使用者的設備。可設定自動演算偏移量(ATVL)，使PV在數值較低處震蕩，有效避免衝溫效應。

導熱性能優良的合金盤麵

經過多次實驗和測試，公司研發出導熱性能優良且具有較高強度的合金盤麵。保證了盤麵加熱溫度的均勻性。並且長時間使用不會變形，平整如初！

加熱元件的均勻排布

公司利用有限元熱分析方法對加熱板盤麵溫度均勻性進行了分析，經多次模擬分析和調整，加熱結構，優化設計出了滿足加熱板盤麵溫度均勻性可達*要求的加熱元件排布方式，並以此為主要依據完成了整體結構的設計。目前加熱板升溫速度快，盤麵溫度均勻，加熱元件耐用。

HP係列烤膠機被設計為控溫精度良好，較高的熱均勻性，簡單實用型烤膠機。

HP烤膠機升溫速度快，由高性能數顯溫控表加熱控製，長壽命、高熱均勻性的發熱部件供熱，高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁麵板。

適應於半導體矽片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，製版的表麵塗覆後，薄膜烘幹，固化。熱板溫度穩定度高，重複性好。可在工礦企業、科研、教育等單位作生產、科研、教學之用。 

數顯高精度烤膠台/加熱台/電熱板 產品特性:

1、  可同時顯示設定溫度與實際溫度

2、  板麵采用鋁合金一體成型，導熱率良好，加熱絕不變形。

3、  陽極硬質氧化鋁麵板及噴砂處理，具有量好的耐磨、耐酸堿特性。

4、  外殼為不鏽鋼材質製成

5、  溫度控製：高精度微電腦PID自動控製，LED數字顯示。

6、  溫度範圍：室溫～300℃ 盤麵均勻度佳。

7、  可溫度校正，保證顯示溫度與實際溫度的*性。

8、真空吸附機型HPV係列

產品外型尺寸：麵板尺寸可根據要求定製

產品技術規格：

典型用戶：

宏力半導體、恒諾微電子、信泰光電、統寶光電、風華高新、TDK CO., LTD、辰田半導體、上海交大微納院

複旦大學微電子係、世紀晶源科技有限公司、富士邁半導體精密工業、中國科學院長春光學精密機械與物理研究所

上海科學院表麵等離子光學實驗室等等